“洁净实验室占地2.3万㎡，将为企业提供包括芯片研发、中试、晶圆加工等服务……”9月27日，“科创赋能”南海科技创新平台成果精准对接沙龙（半导体专场）在广东中科半导体微纳制造技术研究院（下称“研究院”）举行。活动由南海区科学技术局、南海区工商业联合会主办，南海区科技成果转化平台承办，南海区技术经理人联盟等单位协办，10余家半导体产业链上下游企业参加，共同探讨半导体技术需求与应用合作空间。

当天，在研究院科技发展部主任助理胡磊的带领下，企业代表一行参观了研究院成果展厅与洁净实验室。研究院是由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办的广东省省属科研事业单位，一期建设3.5万㎡科研及办公场地，建有洁净实验室2.3万㎡，布局“新型显示与光电探测”、“功率电子与5G通信”、“MEMS智能传感”等研究方向，开展化合物半导体材料、光电子器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。目前已经与佛山照明、国星光电、美的等企业在相关领域开展业务合作。

“研究院建设了针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8寸硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台，可以为企业、高校、科研院所提供GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。”胡磊介绍，研究院已具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。

会上，研究院高级工程师曾超作“电子电路系统增材制造的现状与展望”主题报告，从技术的主要特点出发，简要介绍目前在传感、显示、交互等方面的应用案例，并讨论未来可能的发展方向。

“增材制造法生产电子电路系统具有速度快、工艺简化、成本低、可柔性集成等优势，有助于实现颠覆性的产品应用场景。”曾超介绍，该技术可广泛应用于太阳能电池、显示/发光、传感器、天线、基础线路等领域。

“我们希望寻找可加工大于6英寸的LED氮化硅绝缘层的合作单位。”“我们希望寻找本地温度传感器电阻材料后端加工的平台。”“我们希望在芯片相关领域进行联合研发。”在交流环节，广东奥素液芯微纳科技有限公司、中科传感（佛山）科技有限公司等企业代表们纷纷提出自己的合作需求。

“由于公司芯片进口受到影响，我们也在积极寻找、对接半导体企业，本次活动聚集了许多南海半导体产业的企业，希望后续在专用芯片、专用模块等方面加强合作联系。”广东珠江开关有限公司是一家聚焦输配电产业,专业生产高低压电器元件和配电设备的公司，董事长张柏成现场表示，只要相关技术符合要求，企业都会敢于尝试，力求在家门口实现合作共赢。

研究院代表对企业的需求进行一一回应，综合办主任王辉表示，后续研究院将加快建设步伐，打造集“创新研发+公共服务+科技企业+产业载体+专业基金+品牌活动”于一体的半导体产业生态圈，全方位赋能南海半导体企业发展与产业应用。

半导体产业是制造业皇冠上的“明珠”，作为制造业大区，今年南海发布《佛山市南海区半导体及集成电路产业发展行动方案》，提出未来5年投入200亿元，10年投入500亿元，打造半导体产业生态。本次活动有效推动区内半导体产业链上下游进行资源共享，深化交流合作，为加速培育半导体产业生态提供了助力。