编者按：创建绿色工厂是推动制造业绿色转型升级、实现高质量发展的重要手段。为进一步发挥标准的规范引领作用，将电子行业绿色工厂创建行动引向深入，在工业和信息化部的指导下，中国电子技术标准化研究院、全国绿色工厂推进联盟牵头编制了《微型计算机制造业绿色工厂评价要求》（T/CESA 1088-2020）等18项电子行业绿色工厂评价标准。本批标准在《绿色工厂评价通则》（GB/T 36132-2018）、《电子信息制造业绿色工厂评价导则》（SJ/T 11744-2019）框架下，突出行业和产品特点，进一步明确了评价原则、评价方法、评价指标体系、评价具体要求、评价程序和评价报告等相关技术内容，为电子制造业绿色工厂创建和评价提供了标准依据。为帮助相关企业和机构准确应用标准，现对部分标准进行解读，供参考借鉴。

电子行业绿色工厂标准解读之一：

多晶硅制造业绿色工厂评价要求

多晶硅是由一种硅源气体经化学气相沉积生成的结构上具有大角度晶粒间界、孪晶间界或两种结构兼有的硅多晶,多晶硅是一种生产使用量大面广的半导体电子原材料，在光伏行业、集成电路制造等领域中发挥着重要基础作用。《多晶硅制造业绿色工厂评价要求》（T/CESA 1082-2020）（以下简称“本标准”）规定了多晶硅制造业绿色工厂评价的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告等，适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价，运用其他工艺方法的工厂可参照使用。

本标准围绕《绿色工厂评价通则》（GB/T 36132）及《电子信息制造业绿色工厂评价导则》（SJ/T 11744）中规定的基本要求，以及基础设施、管理体系、能源资源投入、产品、环境排放、绩效等6个一级指标展开，充分考虑多晶硅产品制造业的特征特性，进一步细化了27个二级指标，涉及103个具体要求。如，工厂使用的多晶硅还原炉等专用设备应符合产业准入要求，降低能源与资源消耗，减少污染物排放；工厂应投入与副产物四氯化硅处理量相匹配的冷氢化装置，使副产物四氯化硅得到有效处理，并投入适宜的其他污染物处理设备，以确保其污染物排放达到相关法律法规及标准要求；工厂应在多晶硅产品设计中引入生态设计的理念，宜按照《绿色设计产品评价技术规范 多晶硅》（T/CNIA 0021）开展绿色设计产品评价；工厂生产的多晶硅产品品质应满足《电子级多晶硅》（GB/T 12963）或《太阳能级多晶硅》（GB/T 25074）等规定的技术要求等。

为保证评价工作可操作性，本标准对“用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化”5项绿色工厂绩效指标进行细化和分级，将多晶硅产品生产制造工厂的绿色绩效水平分为3个级别，并给出不同绩效水平对应的指标要求和评价得分。如，明确多晶硅制造业“废物资源化”对应的“单位产品硅粉用量”指标要求分别为≤1.1t/t（1级）、≤1.2t/t（2级）、≤1.4t/t（3级）；“能源低碳化”对应的“单位产品综合能耗”指标要求分别为≤11.5tce/t（1级）、≤12tce/t（2级）、≤13tce/t（3级）等。

亚洲硅业（青海）、新特能源、内蒙古通威等企业参与了本标准的研制和验证。

电子行业绿色工厂标准解读之二：

半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

晶圆是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，晶圆制造是半导体集成电路的重要制程，由晶圆进一步制造的半导体集成电路芯片是广泛应用于各类电子产品生产的重要核心元器件。《半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求》（T/CESA 1081-2020）（以下简称“本标准”）规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告等，适用于对生产8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参照使用。

本标准围绕《绿色工厂评价通则》（GB/T 36132）及《电子信息制造业绿色工厂评价导则》（SJ/T 11744）中规定的基本要求，以及基础设施、管理体系、能源资源投入、产品、环境排放、绩效等6个一级指标展开，充分考虑晶圆产品制造业的特征特性，进一步细化了28个二级指标，涉及111个具体要求。如，晶圆产品生产厂房设计应满足《硅集成电路芯片工厂设计规范》（GB 50809）的要求，洁净厂房设计应满足《电子工业洁净厂房设计规范》（GB 50472）的要求；晶圆产品生产应根据工艺选择淋洗、喷洗、多级逆流漂洗、回收或槽边处理的清洗方式，不采用单槽清洗等方式；应配备适宜生产规模的挥发性有机物处理装备；应运用适宜生产规模的臭氧层消耗物质消解破坏技术和装备等。

为保证评价工作可操作性，本标准对“用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化”5项绿色工厂绩效指标进行细化和分级，将晶圆产品生产制造工厂的绿色绩效水平分为3个级别，并给出不同绩效水平对应的指标要求和评价得分。如，明确晶圆制造业“生产洁净化”对应的“单位产品臭氧层消耗物质产生量”指标要求，8英寸产品生产工厂指标分别为≤28.8mg/cm2（1级）、≤51.9mg/cm2（2级）、≤57.5mg/cm2（3级），12英寸产品生产工厂指标分别为≤23.4mg/cm2（1级）、≤42.1mg/cm2（2级）、≤46.8mg/cm2（3级）；“能源低碳化”对应的“单位产品综合电耗”指标要求，8英寸产品生产工厂指标分别为≤0.83kWh/cm2（1级）、≤1.27kWh/cm2（2级）、≤1.72kWh/cm2（3级），12英寸产品生产工厂指标分别为≤0.66kWh/cm2（1级）、≤1.02kWh/cm2（2级）、≤1.38kWh/cm2（3级）等。

中芯国际、中芯北方、施耐德电气等企业参与了本标准的研制和验证。

电子行业绿色工厂标准解读之三：

动力锂离子蓄电池制造业绿色工厂评价要求

动力锂离子蓄电池是利用锂离子作为导电离子，在阳极和阴极之间移动，通过化学能和电能互相转化实现充放电，从而为电动汽车动力系统提供能量的蓄电池，广泛应用于新能源汽车。《动力锂离子蓄电池制造业绿色工厂评价要求》（T/CESA 1080-2020）（以下简称“本标准”）规定了动力锂离子蓄电池制造业绿色工厂评价的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告等，适用于对生产动力锂离子蓄电池产品的工厂进行评价，生产其他类型锂离子蓄电池产品的绿色工厂评价可参照执行。

本标准围绕《绿色工厂评价通则》（GB/T 36132）及《电子信息制造业绿色工厂评价导则》（SJ/T 11744）中规定的基本要求，以及基础设施、管理体系、能源资源投入、产品、环境排放、绩效等6个一级指标展开，充分考虑动力锂离子蓄电池产品制造业的特征特性，进一步细化了29个二级指标，涉及101个具体要求。如，应按照国家有关新能源汽车动力蓄电池回收利用管理有关规定履行责任；宜计算其产品的可回收利用率，并利用计算结果对产品的可回收利用率进行改善；宜承担生产者责任延伸义务，自行或与综合利用企业合作，在保证安全可控前提下，按照先梯次利用后再生利用原则,对废旧动力蓄电池开展多层次、多用途的合理利用，降低综合能耗，提高能源利用效率，提升综合利用水平与经济效益，并保障不可利用残余物的环保处置；应与汽车生产企业协同，按照《汽车动力电池编码规则》（GB/T 34014）的要求对所生产动力蓄电池进行编码；应会同汽车生产企业及时通过溯源信息系统上传动力蓄电池编码及新能源汽车相关信息等。

为保证评价工作可操作性，本标准对“用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化”5项绿色工厂绩效指标进行细化和分级，将动力锂离子蓄电池产品生产制造工厂的绿色绩效水平分为3个级别，并给出不同绩效水平对应的指标要求和评价得分。如，明确动力锂离子蓄电池制造业“生产洁净化”对应的“单位产品总钴产生量”指标要求分别为≤250g/104Ah（1级）、≤300g/104Ah（2级）、≤350g/104Ah（3级）；“废物资源化”对应的“NMP（N-甲基吡咯烷酮）回收率”指标要求分别为≥97%（1级）、≥95%（2级）、≥90%（3级）；“能源低碳化”对应的“单位产品综合能耗”指标要求分别为≤0.35tce/104Ah（1级）、≤0.4tce/104Ah（2级）、≤0.6tce/104Ah（3级）等。

国能电池、施耐德电气等企业参与了本标准的研制和验证。