近日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“中科微纳研究院”）顺利通过ISO9001质量管理体系认证及ISO45001职业健康安全管理体系认证，标志着研究院在制度化、体系化和标准化方面迈上新台阶。

2019年，中科微纳研究院落地狮山，其由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办，委托中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所运营管理。研究院一期占地100亩，投入运营资金12亿元，建设3.5万平方米科研及办公场地，建有洁净实验室2.3万平方米，目前已基本完成建设；二期规划建设6万平方米专业化半导体产业载体，将为半导体产业的集聚发展提供更为广阔的空间。

广东中科半导体微纳制造技术研究院。研究院供图

经过近四年的探索运营，中科微纳研究院逐步形成了“研究中心+微纳加工平台+育成中心”的创新运营模式。在此模式下，研究中心主要对外提供前沿关键及产业共性技术研发、咨询指导等科研支撑；微纳加工平台则配备资深工艺、设备、厂务工程师，依托中试产线提供洁净空间、代工流片、工艺开发、应用示范、产线共建等产业支撑，为项目落地形成产能保障；育成中心则提供引育孵化、引导基金、专业载体等配套服务。

通过这样的创新运营模式，研究院建设集应用技术研究、公共服务、产业育成为一体的半导体应用技术创新及制造高地，围绕半导体产业早期投入大、产品开发周期长的产业痛点问题，建设面向企业、院所、高校开放的8英寸硅基、6-8英寸化合物半导体中试公共服务平台，合计8英寸产能5000片/月。

目前，中科微纳研究院公共服务平台已具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。同时，研究院还分批铺设8英寸MENS加工线；8英寸Micro-LED、8英寸HEMT加工线；光电器件加工线；8英寸生物医疗芯片加工线。上述产线可分别满足智能感知芯片制造；显示、光通信、电力电子产业需求；紫外、激光器产业需求以及医疗健康等产业的需求。

中科微纳研究院将以此次体系认证为契机，将继续在体系贯标落实过程中紧紧围绕质量管理七大原则，不断优化质量管理体系，继续聚焦提升职业健康安全管理水平，预防和降低职业健康安全风险，为研究院高质量、可持续发展奠定坚实基础。

当前，南海区半导体及集成电路企业超40家，其中规模以上半导体及集成电路制造企业数量从2020年的16家增长至2023年上半年的32家，引进培育出广东希荻微电子股份有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等一批半导体领域先进企业。依托中科微纳研究院等科研平台，南海将持续大力优化产业发展环境，拥抱科技人才与优质项目，助力更多创新成果落地转化，为南海打造粤港澳大湾区半导体制造业重要基地和集聚区提供强大支撑。