建设佛山首家省级制造业创新中心、建成国内首条大板级扇出型封装示范线、自主研发AI视觉检测系统和装备项目获日内瓦国际发明特别展金奖……一个又一个硬核科技成果，记录着佛山广工大研究院建院十年来关于创新发展的耀眼足迹。

佛山广工大研究院围绕半导体与人工智能、机器人与智能装备等领域开展核心技术攻关。

佛山广工大研究院。

自2013年成立以来，佛山广工大研究院立足地方产业转型发展需求，在南海区委区政府、南海区科技局等各级政府部门的指导与支持下，通过“搭平台、聚人才、攻技术、建生态”的战略模式，围绕半导体与人工智能、机器人与智能装备等领域开展核心技术攻关，已建成广东省半导体智能装备和系统集成创新中心等6大省级科创平台，累计研发新品267项，申请专利439项，已成功培育245个高科技创业团队，孵化260家高科技企业，积极为佛山制造业提速升级赋能，助力粤港澳大湾区走上科技创新的“快车道”。

搭建“芯”平台，打造半导体中心

当前，广东持续推进“广东强芯”工程，全面建设中国集成电路第三极。半导体及集成电路产业已经成为广东省制造业发展的“重中之重”。然而，半导体产业对技术、人才、资金、产业基础等条件要求极高，佛山广工大研究院又是如何在10年间从无到有、凝“芯”聚力的？

背靠广东省高水平理工科大学——广东工业大学的资源优势，是研究院成功打造半导体产业生态的关键一环。

时间回到2017年，彼时对于佛山这样的制造业大市来说，半导体产业相对较弱，芯片产业链国产化需求迫切。欲引凤来栖，必先树良梧。为了加速“佛山芯”的制造和发展，佛山广工大研究院率先作为，依托广东工业大学打造的省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室，牵头建设广东省半导体智能装备和系统集成创新中心（以下简称“半导体中心”），这也是佛山市首家省级制造业创新中心，打通了成果输出-中试熟化-产业化通道。

广东省半导体智能装备和系统集成创新中心。

搭建“芯”平台，高端人才少不了。半导体中心由广东佛智芯微电子技术研究有限公司承载运营，先后引进了崔成强、林挺宇等6位国家级人才，重点围绕半导体封装、检测装备及关键共性技术开展技术攻关，已建成以国产装备、材料为核心的国内首条大板级扇出型封装示范线，扇出封装领域专利布局居全球第四，并于2021年获批广东省芯片板级扇出工程技术研究中心，加快扩展产能布局增强核心竞争力。

佛智芯副总经理林挺宇介绍，板级扇出型封装技术是芯片封装领域成本最低、效率最高的一种技术，可以突破晶圆尺寸限制，增大产出并降低成本，又能保证芯片效能。在同样封装材料及结构条件下，综合成本比晶圆级扇出封装降低40%以上，比传统封装降低20%以上。

“通过四五年的努力，半导体中心已经实现板级扇出型封装的小规模量产，目前正在佛山高新区规划布局大的量产线，希望能够跟着研究院成长的步伐，把目前的科研成果进行有效转化。”林挺宇表示，成立至今，半导体中心已攻克一批“卡脖子”技术，掌握玻璃微孔加工和金属化技术、板级高深宽比铜柱工艺、板级翘曲控制及芯片偏移校正等多项半导体扇出封装核心工艺，联合上下游装备、材料、终端、设计、研发等9大领域40余家企业成立芯片板级扇出封装联合体，服务企业60余家，实现成果转化30余项，带动产值超10亿元。

串联产业链，助力入驻企业“破壳”成长

10年间，佛山广工大研究院的半导体产业链，在建成半导体中心后全面铺开，发展壮大。目前，研究院已汇聚半导体高端人才超60名，引进及孵化佛智芯、阿达智能、安耐科、海森特等超30家半导体企业，所涉及的核心工艺及产品服务了近300家企业，成果转化200多项，形成了半导体材料、设计、封测、装备、传感器等完善的上下游产业链，实现优势互补、抱团并进，提高佛山在半导体行业的核心竞争力。而这些企业也在各自的细分领域深耕不辍、“破壳”成长，不断书写着半导体“春天的故事”。

阿达智能生产车间。

例如在装备领域，广东阿达智能装备有限公司现已申请专利超100项，为佛山高新区唯一的潜在独角兽企业，荣获中国半导体封测设备最佳品牌奖。其实现量产的高密度焊线机在技术设计、工艺制造上填补了国产中高端焊线机的市场空白，有效替代进口设备。目前焊线机产品已经批量进入到长电科技、华为、木林森、国星光电、鸿利智汇等国内200多家封测厂商。

 

海森特生产车间。

在半导体材料领域，佛山市海森特集成电路有限公司专注于系统级传感器及解决方案的研发设计，核心团队拥有霍尼韦尔、精量电子、艾默生等知名企业研发背景。“我们的电流传感器具备世界一流的技术水平，可保证全温区精度指标模拟信号最优至4ppm。”海森特公司厂长谭志军介绍，公司开发的绝对湿度传感器主要应用在微波炉、烤箱、空气炸锅等智能烹饪设备，目前正与世界500强佛企——美的合作，可实现完全国产替代，已完成测试及小批量验证，不久后将正式推出产品应用。

AI赋能产业升级

助力佛山制造业当家

“未戴工作帽”“未穿反光衣”……走进百威啤酒佛山工厂的生产车间，AI“安检员”正进行安全行为识别并准确播报。该技术由佛山广工大研究院技术研发部研发，能够自动识别人体、叉车及人体着装PPE等多个目标，有效实现人车分离以及员工着装规范检测，多目标对象识别准确率达99%以上。这也是研究院探索院所赋能、共建企业技术研究院、打造“平台+企业”融合发展的新路径。

 

佛山广工大研究院研发的AI不安全行为识别技术已在百威啤酒佛山工厂启用。

事实上，除了半导体，人工智能也是佛山广工大研究院在建院十年间重点攻坚的一项技术。当前，研究院组建了一支集算法、软件、控制传感系统设计于一体的技术研发团队，在机器视觉和人工智能领域积极探索，已获30余项授权发明专利和20项软件著作权，自主创新成果多次得到权威认可。

其中，由研究院与佛山市坦斯盯科技有限公司共同完成的项目《面向PCB行业的高速高精度AI视觉缺陷检测系统和装备》，攻破了超高分辨率图像特征精准定位与高速智能识别技术，针对PCB线路板表面复杂缺陷成功实现了高速、高精度、高准确度在线检测，项目先后获得了中国发明协会年度发明创新奖一等奖、日内瓦国际发明特别展金奖等奖项。同时，研究院通过该项目搭建了一套完整的零门槛人工智能训练云平台——AI云平台，打通了数据收集、存储、分析和可视化的链路，提供面向多用户、多渠道的深度学习全周期开发平台。

佛山广工大研究院搭建的零门槛人工智能训练云平台——AI云平台。

与百威啤酒佛山工厂合作的项目，正是AI云平台关于智慧工业安防场景应用之一。研究院技术研发部部长李泽辉介绍，该平台通过计算机视觉、自然语言处理、知识图谱等技术，可对工业质检、办公园区安防、交通管理、城市管理等领域上千种场景进行目标检测，有效解决当前人工检测的各种不足及安防不安全行为问题。目前，AI云平台已接入终端设备超8000个，支持当前前沿算法模型80多个，与天波科技、华兴玻璃、华数机器人、汇博机器人等企业合作研发，协助企业解决生产中遇到的技术难点。“下一阶段，我们还将围绕物流成品酒码垛识别、产线设备安全隐患识别、生产线产品缺陷检测等方面开展技术研发合作，助力百威数字化转型，打造世界级智能工厂。”李泽辉说道。

十年创新路，科研结硕果。“今年发布的‘南海科创二十条’给了我们更大的发展信心，研究院将以此为契机，努力打造高能级科创平台，多渠道助力佛山制造业当家。”展望未来，研究院负责人表示，将继续围绕佛山战新产业发展的关键核心技术需求，深入落实南海区“科学家+企业家”计划，与一批南海骨干企业探索建立“专业精细研发站”，打造产学研深度融合创新联合体，集聚创新资源突破重点产业发展瓶颈，以高水平科技自立自强助力佛山制造业高质量发展。